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Optical and chemical characterization of thin TiNx films deposited by DC-magnetron sputtering
Veröffentlicht in Vacuum
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Reactive deposition of TiNx layers in a DC-magnetron discharge
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Reactive deposition of TiN x layers in a DC‐magnetron discharge
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Optical and chemical characterization of thin TiN x films deposited by DC-magnetron sputtering
Veröffentlicht in Vacuum
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