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Atomic layer growth of SiO2 on Si(100) using SiCl4 and H2O in a binary reaction sequence
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Laser-induced fluorescence determination of temperatures in low pressure flames
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Reaction kinetics of H 2O with chlorinated Si(111)-(7 × 7) and porous silicon surfaces
Veröffentlicht in Surface science
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Modeling silicon epitaxial growth with SiH 2Cl 2
Veröffentlicht in Journal of crystal growth
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