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Verfahren, Magnetron-Target, Magnetronanordnung und Vakuumanordnung
von
Schneider, Klaus
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Wichtery, Mario
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Prozessieranordnung und Verfahren
von
Schneider, Klaus
,
Wichtery, Mario
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Magnetron arrangement, comprises support, target placed on or above support, target retaining strip holding target, and electrically contacting resilient coupling structure arrange...
von
SCHNEIDER, KLAUS
,
WICHTERY, MARIO
,
KAISER, CHRISTOPH
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Magnetronanordnung
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Kaiser, Christoph
,
Wichtery, Mario
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Magnetronanordnung
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Schneider, Klaus
,
Kaiser, Christoph
,
Wichtery, Mario
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Sputtervorrichtung und Beschichtungsanordnung
von
Mosshammer, Steffen
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Weichsel, Tim
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Großer, Götz
,
Wichtery, Mario
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Magnetronanordnung und Target für eine Magnetronanordnung
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Schneider, Klaus
,
Kaiser, Christoph
,
Wichtery, Mario
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8
Magnetronanordnung und Verfahren zum Betreiben einer Rohrmagnetronanordnung
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Mosshammer, Steffen
,
Rehn, Stanley
,
Teschner, Götz
,
Wichtery, Mario
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9
Arrangement of magnetron e.g. planar magnetron, has clamping structure that is provided to clamp target against carrier to provide direct flow of power between clamping structure a...
von
SCHNEIDER, KLAUS
,
WICHTERY, MARIO
,
KAISER, CHRISTOPH
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10
Magnetron arrangement comprises support and target which is disposed on the support and has three boundary surfaces resting on the support
von
SCHNEIDER, KLAUS
,
WICHTERY, MARIO
,
KAISER, CHRISTOPH
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Magnetronanordnung
von
WICHTERY, MARIO
,
SANDER, THORSTEN
,
REHN, STANLEY
,
MOSSHAMMER, STEFFEN
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