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    Acoustic emission and precision force-displacement observations of spherical indentations into TiN films on silicon

    Acoustic emission and precision force-displacement observations of spherical indentations into TiN films on silicon von Shiwa, M., Weppelmann, E.R., Bendeli, A., Swain, M.V., Munz, D., Kishi, T.

    Veröffentlicht in Surface & coatings technology

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    Observations and simple fracture mechanics analysis of indentation fracture delamination of TiN films on silicon

    Observations and simple fracture mechanics analysis of indentation fracture delamination of TiN films on silicon von Weppelmann, E.R., Hu, X.-Z., Swain, M.V.


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