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Optical parts and the nonlinearity in heterodyne interferometers
Veröffentlicht in Precision engineering
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A Heterodyne Interferometer for Simultaneous Measurement of Roll and Straightness
Veröffentlicht in IEEE access
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Roll angle measurement system based on differential plane mirror interferometer
Veröffentlicht in Optics express
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High Precision Roll Angle Interferometer
Veröffentlicht in Ji xie gong cheng xue bao
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A novel overlay metrology method: Simultaneous utilizing spectral and angular spectrum
Veröffentlicht in Optik (Stuttgart)
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Design and Analysis of Dual-Beam Heterodyne Interferometer
Veröffentlicht in Applied Mechanics and Materials
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Review of the Levitation Mass Method a Precision Mechanical Measurement Method
Veröffentlicht in Procedia engineering
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Investigation and compensation of the nonlinearity of heterodyne interferometers
Veröffentlicht in Precision engineering
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Digital micro-mirror device based modulator for microscope illumination
Veröffentlicht in Physics procedia
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The effect of laser source and PBS on the nonlinearity in heterodyne interferometer
Veröffentlicht in Optik (Stuttgart)
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