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    Dopant-defect interactions in highly doped epitaxial Si:P thin films

    Dopant-defect interactions in highly doped epitaxial Si:P thin films von Weinrich, Z.N., Li, X., Sharma, S., Craciun, V., Ahmed, M., Sanchez, E.A.C., Moffatt, S., Jones, K.S.

    Veröffentlicht in Thin solid films

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