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Performance of an image adjustment device for SCALPEL
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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INTERFACE IMPERFECTIONS IN METAL/SI MULTILAYERS
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Surface finish requirements for soft x-ray mirrors
Veröffentlicht in Applied Optics
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Monte Carlo study of high performance resists for SCALPEL nanolithography
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Global space charge effect in SCALPEL
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Marks for SCALPEL ® tool optics optimization
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Diffraction-limited soft-x-ray projection imaging using a laser plasma source
Veröffentlicht in Optics letters
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An object pattern post-processor for validation of electron optical modelling
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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STRESS-RELAXATION IN MO/SI MULTILAYER STRUCTURES
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Mask technologies for soft-x-ray projection lithography at 13 nm
Veröffentlicht in Applied Optics
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Analysis of a SCALPEL™ multi-pass writing strategy
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Ordering at Si(111)/a-Si and Si(111)/SiO2 interfaces
Veröffentlicht in Physical review letters
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CMOS compatible alignment marks for the SCALPEL proof of lithography tool
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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