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Effects of silicide formation on the removal of end-of-range ion implantation damage in silicon
von
Lur, W.
,
Cheng, J.Y.
,
Chu, C.H.
,
Wang, M.H.
,
Lee, T.C.
,
Wann, Y.J.
,
Chao, W.Y.
,
Chen, L.J.
Veröffentlicht in
Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms
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High-k/ metal-gate stack work-function tuning by rare-earth capping layers: Interface dipole or bulk charge?
von
Yu, H.Y.
,
Chang, S.Z.
,
Aoulaiche, M.
,
Kaczer, B.
,
Absil, P.
,
Adelmann, C.
,
Hoffmann, T.
,
Biesemans, S.
,
Wann, C.
,
Mii, Y.J.
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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