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    Cooler for use in a device in a vacuum

    Cooler for use in a device in a vacuum von Weigl, Bernhard, Kolloch, Andreas, Anderl, Willi, Kierey, Holger, Bauer, Markus, Wandner, Ann-Kathrin, Schmittner, Arno, Schmelzeisen, Marcus

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    COOLER FOR USE IN A DEVICE IN A VACUUM

    COOLER FOR USE IN A DEVICE IN A VACUUM von Weigl Bernhard, Wandner Ann-Kathrin, Kierey Holger, Schmittner Arno, Anderl Willi, Schmelzeisen Marcus, Bauer Markus, Kolloch Andreas

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    SUBSTRATE FOR SELECTING AND SPECIFICALLY INFLUENCING THE FUNCTION OF CELLS

    SUBSTRATE FOR SELECTING AND SPECIFICALLY INFLUENCING THE FUNCTION OF CELLS von WANDNER ANN-KATHRIN, SPATZ JOACHIM P, PERSCHMANN NADINE, FIAMMENGO ROBERTO

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    COOLER FOR PLASMA GENERATION CHAMBER OF EUV RADIATION SOURCE

    COOLER FOR PLASMA GENERATION CHAMBER OF EUV RADIATION SOURCE von SCHMELZEISEN MARCUS, KIEREY HOLGER, KOLLOCH ANDREAS, SCHMITTNER ARNO, WEIGL BERNHARD, WANDNER ANN-KATHRIN, BAUER MARKUS, ANDERL WILLI

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    COOLER USED IN PLASMA GENERATION CHAMBER OF RADIATION SOURCE FOR EXTREME ULTRAVIOLET WAVELENGTH RANGE

    COOLER USED IN PLASMA GENERATION CHAMBER OF RADIATION SOURCE FOR EXTREME ULTRAVIOLET WAVELENGTH RANGE von KIEREY HOLGER, ARNO SCHMIDTNER, WEIGL BERNHARD, MARCUS SCHMELZEISEN, ANDERL WILLI, ANN-KATHRIN WANDNER, MARKUS BAUER, ANDREAS KOLLOCH

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    Kühlvorrichtung mit Kühlkörper und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie

    Kühlvorrichtung mit Kühlkörper und Projektionsbelichtungsanlage für die Halbleiterlithographie von Weigl, Bernhard, Kolloch, Andreas, Anderl, Willi, Kierey, Holger, Bauer, Markus, Wandner, Ann-Kathrin, Schmittner, Arno, Schmelzeisen, Marcus

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    Kühler zur Verwendung in einer Vorrichtung im Vakuum

    Kühler zur Verwendung in einer Vorrichtung im Vakuum von Weigl, Bernhard, Kolloch, Andreas, Anderl, Willi, Kierey, Holger, Bauer, Markus, Wandner, Ann-Kathrin, Schmittner, Arno, Schmelzeisen, Marcus

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