Influence of the RF power on the deposition rate and the chemical surface composition of fluorocarbon films prepared in dry etching gas plasma von Yanev, V., Krischok, S., Opitz, A., Wurmus, H., Schaefer, J.A., Schwesinger, N., Ahmed, S.-I.-U.

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Analysis of self-heating phenomenon of piezoelectric microcomponents actuated harmonically von Keoschkerjan, R., Harutyunyan, M., Wurmus, H.

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A modular microfluid system with an integrated micromixer von Schwesinger, Norbert, Frank, Thomas, Wurmus, Helmut

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Microgrippers created in microstructurable glass von SALIM, R, WURMUS, H, HARNISCH, A, HÜLSENBERG, D

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Magnetische Mikrokomponenten für die Mikroreaktionstechnik von Halbedel, B., Albrecht, A., Frank, Th, Henkel, Th, Kunze, U., Mayer, G., Schober, A., Wurmus, H.

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Working principle and performance of the dynamic micropump von Gerlach, T., Wurmus, H.

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