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High quality polysilicon by amorphous low pressure chemical vapor deposition
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Polysilicon growth kinetics in a low pressure chemical vapour deposition reactor
Veröffentlicht in Thin solid films
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A calibration system for calorimetric mass flow devices
Veröffentlicht in Journal of physics. E, Scientific instruments
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Silicon heavily doped by energetic cesium ions
Veröffentlicht in The Journal of physics and chemistry of solids
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