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    Method for transfer of thin-film of silicon carbide via implantation and wafer bonding

    Method for transfer of thin-film of silicon carbide via implantation and wafer bonding von WILSON SYD ROBERT, HOLLAND ORIN WAYNE, THOMAS DARRELL KEITH, GREGORY RICHARD BAYNE, WETTEROTH THOMAS ALLEN

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    Method for transfer of thin-film of silicon carbide via implantation and wafer bonding

    Method for transfer of thin-film of silicon carbide via implantation and wafer bonding von Holland, Orin Wayne, Thomas, Darrell Keith, Gregory, Richard Bayne, Wilson, Syd Robert, Wetteroth, Thomas Allen

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