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Visualization of Acoustic Waves and Cavitation in Ultrasonic Water Flow
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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The endpoint detection method using moiré pattern in CMP’s EPD system
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Optimal Injection Distance in Ultrasonic Water Flow Cleaning
Veröffentlicht in Solid state phenomena
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Thickness Control Technology for CMP Process
Veröffentlicht in Journal of the Japan Society for Precision Engineering
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Magnetically levitated vibration damping apparatus
Veröffentlicht in The Journal of the Acoustical Society of America
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Vibration damping apparatus
Veröffentlicht in The Journal of the Acoustical Society of America
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