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Focused ion beam lithography and its application to submicron devices
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High-performance VLSI photomask with a molybdenum silicide film
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High sensitivity, dry-etch-resistant negative EB resist
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Elimination of substrate damage in focused-ion-beam repair of photomask
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Mark detection technology in electron-beam direct writing
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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A Dry Etching Technique Using Electron Beam Resist‐PBS
Veröffentlicht in Journal of the Electrochemical Society
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Fabrication of ECL gate arrays on quick turn-around line
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Chromium etching characteristics using a planar type plasma reactor
Veröffentlicht in Journal of electronic materials
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Dynamic thermal response of photomasks caused by excimer laser pulse
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Sputtered W-Ti Film for X-Ray Mask Absorber
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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