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Experimental Investigation on Ablation of 4H-SiC by Infrared Femtosecond Laser
Veröffentlicht in Micromachines (Basel)
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High-Temperature SiC Piezoresistive Accelerometer Fabricated by Femtosecond Laser
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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Piezoresistive 4H-SiC Pressure Sensor with Diaphragm Realized by Femtosecond Laser
Veröffentlicht in IEEE sensors journal
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