Plasma-CVD of TiCN and ZrCN films on light metals von Rie, K.-T., Wöhle, J.

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Plasma assisted CVD for low temperature coatings to improve the wear and corrosion resistance von Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J.

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BCN coatings on polymer substrates by plasma CVD at low temperature von Wöhle, J., Ahn, H., Rie, K.-T.

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Transparent BCN coatings by RF PACVD at low temperature using metallo-organic precursors von Ahn, H., Alberts, L., Wöhle, J., Rie, K.-T.

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TiCN coatings on aluminum alloy formed by MO-PACVD von Kim, S.K., Kim, T.H., Wöhle, J., Rie, K.-T.

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Deposition of TiCN and ZrCN layers on light metals by PACVD method using radio frequency and pulsed-DC plasma von Wöhle, J., Pfohl, C., Rie, K.-T., Gebauer-Teichmann, A., Kim, S.K.

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Synthesis of TiN/TiCN/TiC layer systems on steel and cermet substrates by PACVD von Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J., Tönshoff, H.K., Blawit, C.

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Optimization and control of a plasma carburizing process by means of optical emission spectroscopy von Rie, K.-T., Menthe, E., Wöhle, J.

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Comparison of radio frequency and pulsed-d.c. plasma CVD of TiCNH and ZrCNH layers at low temperature von Wöhle, J., Gebauer-Teichmann, A., Rie, K.-T.

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Studies on the synthesis of hard coatings by plasma-assisted CVD using metallo-organic compounds von Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J.

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Studies on synthesis of aluminium containing layer systems on steel and cermet substrates by PACVD von Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J.

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Synthesis of thin coatings by plasma-assisted chemical vapour deposition using metallo-organic compounds as precursors von Rie, K.-T., Wöhle, J., Gebauer, A.

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Low temperature coating of aluminium alloys by plasma-CVD using metallo-organic compounds von Rie, K.-T., Wöhle, J., Gebauer, A.

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Spectroscopic investigation of the discharge for PA-CVD of TiN von RIE, K.-T, GEBAUER, A, WÖHLE, J

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Spectroscopic investigation of N2-H2-Ar-TiCl4-assisted chemical vapour deposition discharge for plasma of TiN von RIE, K.-T, WOHLE, J

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Plasmagestützte Beschichtung von Bauteilen bei niedrigen Temperaturen von Wöhle, J., Rie, K.-T.

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Prozeßoptimierung bei der Hartstoffbeschichtung im Plasma-CVD-Verfahren mit Hilfe der optischen Emissionsspektroskopie von Rie, K.-T., Gebauer, A., Wöhle, J.

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Spectroscopic investigation of N 2H 2ArTiCl 4-assisted chemical vapour deposition discharge for plasma of TiN von Rie, K.-T., Wöhle, J.

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Plasmagestützte Beschichtung von Bauteilen bei niedrigen Temperaturen von Wöhle, J., Rie, K.‐T.

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BCN coatings on polymer substrates by plasma CVD at low temperature von WÖHLE, J, AHN, H, RIE, K.-T

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