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Double magnetron self-sputtering in HiPIMS discharges
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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Ion density increase in high power twin-cathode magnetron system
Veröffentlicht in Vacuum
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Energy Shift During Ion Extraction from an ICP Source
Veröffentlicht in Journal of the Korean Physical Society
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IOPscience - Double magnetron self-sputtering in HiPIMS discharges
Veröffentlicht in Plasma sources science & technology
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