-
1
-
2
-
3
-
4
-
5
Preparation of argon-free refractory thin films using RF-DC coupled magnetron sputtering
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
6
A regression model for a displaced atom cascade under ion sputtering of solids
Veröffentlicht in Technical physics
VolltextArtikel -
7
-
8
-
9
-
10
Incident ion energy spectrum and target sputtering rate in dc planar magnetron
Veröffentlicht in Vacuum
VolltextArtikel -
11
-
12
-
13
Quasihard-sphere model in simulation of the processes of particle scattering
Veröffentlicht in Technical physics
VolltextArtikel -
14
-
15
-
16
-
17