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    Mechanical investigations of free-standing SiN membranes patterned with one-dimensional photonic crystal structures

    Mechanical investigations of free-standing SiN membranes patterned with one-dimensional photonic crystal structures von Akbar Darki, Ali, Vinther Nielsen, Robin, Vinge Nygaard, Jens, Dantan, Aurélien

    Veröffentlicht in Journal of applied physics

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