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Characterization of a Multi-Channel CMUT Gas Sensor
von
Boutonnet, Charles
,
Shaw, Anurupa
,
Bastien, Jean-Claude
,
Blard, Francois
,
Vialletelle, Adrien
,
Pinon, Vincent
,
Blanc, Christophe Le
,
Herrier, Cyril
,
Livache, Thierry
,
Fain, Bruno
Veröffentlicht in
Journal of microelectromechanical systems
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