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MEMS-Enabled Silicon Photonic Integrated Devices and Circuits
Veröffentlicht in IEEE journal of quantum electronics
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Silicon photonic microelectromechanical phase shifters for scalable programmable photonics
Veröffentlicht in Optics letters
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Compact broadband suspended silicon photonic directional coupler
Veröffentlicht in Optics letters
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Wafer-level hermetically sealed silicon photonic MEMS
Veröffentlicht in Photonics research (Washington, DC)
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Correction: Integrated silicon photonic MEMS
Veröffentlicht in Microsystems & nanoengineering
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