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CMOS–MEMS resonators: From devices to applications
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Monolithic CMOS MEMS Oscillator Circuit for Sensing in the Attogram Range
Veröffentlicht in IEEE electron device letters
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Metal microelectromechanical oscillator exhibiting ultra-high water vapor resolution
Veröffentlicht in Lab on a chip
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Packaged CMOS-MEMS free-free beam oscillator
Veröffentlicht in Journal of micromechanics and microengineering
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On the electromechanical modelling of a resonating nano-cantilever-based transducer
Veröffentlicht in Ultramicroscopy
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