Area-Selective Molecular Layer Deposition of Polyimide on Cu through Cu-Catalyzed Formation of a Crystalline Interchain Polyimide von Zhang, Chao, Vehkamäki, Marko, Pietikäinen, Mika, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko

Volltext

Passivation of copper surfaces for selective-area ALD using a thiol self-assembled monolayer von Färm, Elina, Vehkamäki, Marko, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Atomic Layer Deposition of Emerging 2D Semiconductors, HfS2 and ZrS2, for Optoelectronics von Mattinen, Miika, Popov, Georgi, Vehkamäki, Marko, King, Peter J, Mizohata, Kenichiro, Jalkanen, Pasi, Räisänen, Jyrki, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko

Volltext

Atomic Layer Deposition of CsI and CsPbI3 von Weiß, Alexander, Popov, Georgi, Atosuo, Elisa, Vihervaara, Anton, Jalkanen, Pasi, Vehkamäki, Marko, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko, Kemell, Marianna

Volltext

Atomic Layer Deposition of PbS Thin Films at Low Temperatures von Popov, Georgi, Bačić, Goran, Mattinen, Miika, Manner, Toni, Lindström, Hannu, Seppänen, Heli, Suihkonen, Sami, Vehkamäki, Marko, Kemell, Marianna, Jalkanen, Pasi, Mizohata, Kenichiro, Räisänen, Jyrki, Leskelä, Markku, Koivula, Hanna Maarit, Barry, Seán T, Ritala, Mikko

Volltext

Inherent area-selective atomic layer deposition of ZnS von Zhang, Chao, Vehkamäki, Marko, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko

Volltext

Atomic Layer Deposition of Rhenium Disulfide von Hämäläinen, Jani, Mattinen, Miika, Mizohata, Kenichiro, Meinander, Kristoffer, Vehkamäki, Marko, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Atomic Layer Deposition of PbI2 Thin Films von Popov, Georgi, Mattinen, Miika, Hatanpää, Timo, Vehkamäki, Marko, Kemell, Marianna, Mizohata, Kenichiro, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Atomic Layer Deposition of Iridium Thin Films Using Sequential Oxygen and Hydrogen Pulses von Mattinen, Miika, Hämäläinen, Jani, Vehkamäki, Marko, Heikkilä, Mikko J, Mizohata, Kenichiro, Jalkanen, Pasi, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

3D-printed sensor electric circuits using atomic layer deposition von Kestilä, Antti, Vehkamäki, Marko, Nyman, Leo, Salmi, Mika, Lohilahti, Jarkko, Hatanpää, Timo, Lafont, Ugo, Ritala, Mikko

Volltext

Atomic Layer Deposition and Characterization of Bi2Te3 Thin Films von Sarnet, Tiina, Hatanpää, Timo, Puukilainen, Esa, Mattinen, Miika, Vehkamäki, Marko, Mizohata, Kenichiro, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Microwave-assisted base-free oxidation of glucose on gold nanoparticle catalysts von Rautiainen, Sari, Lehtinen, Petra, Vehkamäki, Marko, Niemelä, Klaus, Kemell, Marianna, Heikkilä, Mikko, Repo, Timo

Volltext

Atomic layer deposition of GdF3 thin films von Atosuo, Elisa, Mizohata, Kenichiro, Mattinen, Miika, Mäntymäki, Miia, Vehkamäki, Marko, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko

Volltext

Rhenium Metal and Rhenium Nitride Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition von Hämäläinen, Jani, Mizohata, Kenichiro, Meinander, Kristoffer, Mattinen, Miika, Vehkamäki, Marko, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Electric and Magnetic Properties of ALD-Grown BiFeO3 Films von Marchand, Benoît, Jalkanen, Pasi, Tuboltsev, Vladimir, Vehkamäki, Marko, Puttaswamy, Manjunath, Kemell, Marianna, Mizohata, Kenichiro, Hatanpää, Timo, Savin, Alexander, Räisänen, Jyrki, Ritala, Mikko, Leskelä, Markku

Volltext

Sealing of Hard CrN and DLC Coatings with Atomic Layer Deposition von Härkönen, Emma, Kolev, Ivan, Díaz, Belén, Światowska, Jolanta, Maurice, Vincent, Seyeux, Antoine, Marcus, Philippe, Fenker, Martin, Toth, Lajos, Radnoczi, György, Vehkamäki, Marko, Ritala, Mikko

Volltext

In vacuo cluster tool for studying reaction mechanisms in atomic layer deposition and atomic layer etching processes von Nieminen, Heta-Elisa, Chundak, Mykhailo, Heikkilä, Mikko J., Kärkkäinen, Paloma Ruiz, Vehkamäki, Marko, Putkonen, Matti, Ritala, Mikko

Volltext

Atomic Layer Deposition of Boron‐Doped Al2O3 Dielectric Films von Li, Xinzhi, Vehkamäki, Marko, Chundak, Mykhailo, Mizohata, Kenichiro, Vihervaara, Anton, Leskelä, Markku, Putkonen, Matti, Ritala, Mikko

Volltext

Oxidation of Vanillin with Supported Gold Nanoparticles von Rautiainen, Sari, Chen, Jingjing, Vehkamäki, Marko, Repo, Timo

Volltext

Metal oxide multilayer hard mask system for 3D nanofabrication von Han, Zhongmei, Salmi, Emma, Vehkamäki, Marko, Leskelä, Markku, Ritala, Mikko

Volltext