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Design and sensitivity analysis of capacitive MEMS pressure sensor for blood pressure measurement
von
Rao, K. Srinivasa
,
Samyuktha, W.
,
Vardhan, D. Vazad
,
Naidu, B. Girish
,
Kumar, P. Ashok
,
Sravani, K. Girija
,
Guha, Koushik
Veröffentlicht in
Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration
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