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    Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films

    Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films von Potts, Stephen E., Van den Elzen, Luc R., Dingemans, Gijs, Langereis, Erik, Keuning, Wytze, Van de Sanden, M. C., Kessels, W. M.


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    Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films

    Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition of Metal Oxide Thin Films von Potts, Stephen E., Van den Elzen, Luc R., Dingemans, Gijs, Langereis, Erik, Keuning, Wytze, Van de Sanden, M. C., Kessels, W. M.


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