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Ge deep sub-micron HiK/MG pFETs with superior drive compared to Si HiK/MG state-of-the-art reference
von
De Jaeger, Brice
,
Kaczer, Ben
,
Zimmerman, Paul
,
Opsomer, Karl
,
Winderickx, Gillis
,
Van Steenbergen, Jan
,
Van Moorhem, Els
,
Terzieva, Valentina
,
Bonzom, Renaud
,
Leys, Frederik
,
Arena, Chantal
,
Bauer, Matthias
,
Werkhoven, Chris
,
Caymax, Matty
,
Meuris, Marc
,
Heyns, Marc
Veröffentlicht in
Semiconductor Science and Technology
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