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Shape tuning of large area silicon nanotip arrays through reactive ion etching
von
Sankabathula, Giridhar Tulasi Ram
,
Valluri, Srujana
,
Norden, Nick
,
Binderup, Stephen
,
Sumant, Anirudha
,
Divan, Ralu
,
Mohsen, Osama
,
Piot, Philippe
,
Korampally, Venumadhav
Veröffentlicht in
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics
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