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Micro breakdown in small-area ultrathin gate oxides
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Influence of dielectric breakdown on MOSFET drain current
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FGA effects on plasma-induced damage: beyond the appearances
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Plasma-induced micro breakdown in small-area MOSFETs
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Depassivation of latent plasma damage in pMOS devices
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Plasma-induced Si/SiO2 interface damage in CMOS
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Radiation-induced depassivation of latent plasma damage
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Low-field latent plasma damage depassivation in thin-oxide MOS
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Depassivation of latent plasma damage in nMOSFETs
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