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Fabrication-induced disorder in structures for nanophotonics
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Nanofabrication of negative refractive index metasurfaces
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Development of UV-LIGA integrated vibrometer using 3X3 directional coupler
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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Development of UV-LIGA integrated vibrometer using 3 × 3 directional coupler
Veröffentlicht in Microelectronic engineering
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