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Environmentally Benign In-Line Cleaning Solutions for Immersion Lithography Tools
von
Zhang, Peng
,
Jansen, Bauke
,
van Berkel, Kim
,
Mih, Rebecca
,
Hoekerd, Kornel
,
Mirth, George
,
Bilodeau, Steve
,
Chen, Tian Niu
,
Schuh, Nadja
,
Korzenski, Michael B.
,
Hogan, Todd
,
Vangheluwe, Rik
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Tagungsbericht
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2
47.4: Lifetime of Thin-Film Encapsulation and its Impact on OLED Device Performance
von
Hemerik, Marcel
,
Van Erven, Rob
,
Vangheluwe, Rik
,
Yang, James
,
Van Rijswijk, Tom
,
Winters, Rogier
,
Van Rens, Bas
Veröffentlicht in
SID International Symposium Digest of technical papers
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Artikel
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3
METHOD OF PERFORMANCE TESTING WORKING PARAMETERS OF A FLUID HANDLING STRUCTURE AND A METHOD OF DETECTING LOSS OF IMMERSION LIQUID FROM A FLUID HANDING STRUCTURE IN AN IMMERSION LIT...
von
POLET, Theodoras Wilhelmus
,
GATTOBIGIO, Giovanni Luca
,
BECKERS, Johan Franciscus Maria
,
VANGHELUWE, Rik
,
VAN GILS, Mike Paulus Johannes
,
VAN SLUISVELD, Wouterus Jozephus Johannes
,
KOX, Ronald Frank
,
BANERJEE, Nirupam
,
EUMMELEN, Erik Henricus Egidius Catharina
,
ROPS, Cornelius Maria
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Patent
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4
METHOD OF PERFORMANCE TESTING A FLUID HANDLING STRUCTURE
von
POLET, Theodorus
,
KOX, Ronald
,
VANGHELUWE, Rik
,
BECKERS, Johan
,
VAN GILS, Mike
,
EUMMELEN, Erik
,
VAN SLUISVELD, Wouterus
,
GATTOBIGIO, Giovanni
,
BANERJEE, Nirupam
,
ROPS, Cornelius
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5
METHOD OF INSPECTING SUBSTRATE, AND METHOD OF PREPARING SUBSTRATE FOR LITHOGRAPHY
von
VAN DOMMELEN YOURI JOHANNES LAURENTIUS MARIA
,
KNAAPEN THIJS EGIDIUS JOHANNES
,
DAVERVELD RALF MARTINUS MARINUS
,
QUAEDACKERS JOHANNES A
,
GROUWSTRA CEDRIC DESIRE
,
ROMMERS JEROEN HUBERT
,
VANGHELUWE RIK TEODOOR
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Patent
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6
Method for applying a thin film barrier stack to a device with microstructures, and device provided with such a thin film barrier stack
von
MISCHKE, WLODEK STANISLAW
,
VAN ASSCHE, FERDINANDUS JOSEPHUS HONORE
,
DINGS, FRANCISCUS CORNELIUS
,
VANGHELUWE, RIK THEODOOR
,
KESSELS, WILHELMUS MATHIJS MARIE
,
VAN DE SANDEN, MAURITIUS CORNELIS MARIA
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Patent
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7
Werkwijze voor het aanbrengen van een dunne-film-afsluitlaagsamenstel op een device met microstructuren, alsmede een device voorzien van een dergelijk dunne-film-afsluitlaagsamenst...
von
RIK THEODOOR VANGHELUWE
,
FRANCISCUS CORNELIUS DINGS
,
FERDINANDUS JOSEPHUS HONORE VAN ASSCHE
,
MAURITIUS CORNELIS MARIA VAN DE SANDEN
,
WLODEK STANISLAW MISCHKE
,
WILHELMUS MATHIJS MARIE KESSELS
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Patent
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Sid International Symposium Digest Of Technical Papers
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Proquest Central Uk/Ireland
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Proquest Central
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Proquest One Community College
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