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    The indent reflow sealing (IRS) technique-a method for the fabrication of sealed cavities for MEMS devices

    The indent reflow sealing (IRS) technique-a method for the fabrication of sealed cavities for MEMS devices von Tilmans, H.A.C., van de Peer, D.J., Beyne, E.


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    Method of fabrication of a microstructure having an inside cavity

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