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Atomic diffusion bonding of Si wafers using thin Nb films
Veröffentlicht in JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS
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Atomic diffusion bonding in air using Ag films
Veröffentlicht in Japanese Journal of Applied Physics
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Atomic Diffusion Bonding in Air Using Oxide Films
Veröffentlicht in ECS transactions
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De-bondable SiC SiC wafer bonding via an intermediate Ni nano-film
Veröffentlicht in Applied surface science
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De-bondable SiCSiC wafer bonding via an intermediate Ni nano-film
Veröffentlicht in Applied surface science
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