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STRUCTURE AND COMPOSITION EVOLUTION a-Si/ZrO2 AND a-SiOx/ZrO2 MULTILAYERED NANOPERIODICAL STRUCTURES UNDER HIGH TEMPERATURE ANNEAL
von
Sergey Yu. Turishchev
,
Dmitry A. Koyuda
,
Alexey V. Ershov
,
Ulii A. Vainer
,
Tatiana V. Kulikova
,
Boris L. Agapov
,
Elena N. Zinchenko
,
Margarita V. Grechkina
,
Daria S. Usoltseva
,
Vladimir A. Terekhov
Veröffentlicht in
Kondensirovannye sredy i mežfaznye granicy
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ЭВОЛЮЦИЯ СТРУКТУРЫ И СОСТАВА МНОГОСЛОЙНЫХ НАНОПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР a-Si/ZrO2 и a-SiOx/ZrO2 ПОД ДЕЙСТВИЕМ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОГО ОТЖИГА...
von
Turishchev, Sergey Yu
,
Koyuda, Dmitry A.
,
Ershov, Alexey V.
,
Vainer, Ulii A.
,
Kulikova, Tatiana V.
,
Agapov, Boris L.
,
Zinchenko, Elena N.
,
Grechkina, Margarita V.
,
Usoltseva, Daria S.
,
Terekhov, Vladimir A.
Veröffentlicht in
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