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Reactive force-field molecular dynamics simulation for the surface reaction of SiH (x = 2–4) species on Si(1 0 0)-(2 × 1):H surfaces in chemical vapor deposition processes
von
Uene, Naoya
,
Mabuchi, Takuya
,
Zaitsu, Masaru
,
Yasuhara, Shigeo
,
Tokumasu, Takashi
Veröffentlicht in
Computational materials science
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2
Study of reflection models of gas molecules on water adsorbed surfaces in high-speed flows
von
UENE, Naoya
,
TAKEUCHI, Hideki
,
HAYAMIZU, Yasutaka
,
TOKUMASU, Takashi
Veröffentlicht in
Journal of Fluid Science and Technology
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3
Reactive force-field molecular dynamics simulation for the surface reaction of SiHx (x = 2–4) species on Si(100)-(2 × 1):H surfaces in chemical vapor deposition processes
von
Uene, Naoya
,
Mabuchi, Takuya
,
Zaitsu, Masaru
,
Yasuhara, Shigeo
,
Tokumasu, Takashi
Veröffentlicht in
Computational materials science
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4
Reactive Force Field Molecular Dynamics Studies of the Initial Growth of Boron Nitride Using BCl 3 and NH 3 by Atomic Layer Deposition
von
Uene, Naoya
,
Mabuchi, Takuya
,
Zaitsu, Masaru
,
Yasuhara, Shigeo
,
van Duin, Adri C. T.
,
Tokumasu, Takashi
Veröffentlicht in
Journal of physical chemistry. C
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5
Molecular analysis of hydrogen-bond structures in polymer electrolyte membrane in polymer electrolyte fuel cells below freezing temperatures
von
Nishizawa, Hiroki
,
Mabuchi, Takuya
,
Uene, Naoya
,
Tokumasu, Takashi
Veröffentlicht in
ECS transactions
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6
Multi-Scale Simulations of Gas-Phase Particles Generated in Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Processes
von
Kosaki, Yusuke
,
Uene, Naoya
,
Mabuchi, Takuya
,
Tokumasu, Takashi
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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シリコン酸化膜におけるシリコンナノ結晶の成長メカニズムの解明に向けた反応性力場分子動力学法による数値シミュレーション
von
田村, 玄汰
,
上根, 直也
,
後藤, 和泰
,
宇佐美, 徳隆
,
徳増, 崇
Veröffentlicht in
「次世代の太陽光発電システム」シンポジウム(日本太陽光発電学会学術講演会)予稿集
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