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Anodic Oxidation of Hydrogen-Transferred Silicon-on-Insulator Layers
Veröffentlicht in Semiconductors (Woodbury, N.Y.)
VolltextArtikel -
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Diffusion of In Atoms in SiO2 Films Implanted with As+ Ions
Veröffentlicht in Semiconductors (Woodbury, N.Y.)
VolltextArtikel -
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Diffusion and Interaction of In and As Implanted into SiO2 Films
Veröffentlicht in Semiconductors (Woodbury, N.Y.)
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Properties of silicon oversaturated with implanted hydrogen
Veröffentlicht in Thin solid films
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