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Atomic force microscope for accurate dimensional metrology
Veröffentlicht in Precision engineering
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Linearizing control of magnetic suspension systems
Veröffentlicht in IEEE transactions on control systems technology
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Modeling and vector control of planar magnetic levitator
Veröffentlicht in IEEE transactions on industry applications
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Design and control for an electromagnetically driven X– Y– θ stage
Veröffentlicht in Precision engineering
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High-precision magnetic levitation stage for photolithography
Veröffentlicht in Precision engineering
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Dynamics and Control of the UNCC/MIT Sub-Atomic Measuring Machine
Veröffentlicht in CIRP annals
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Performance Evaluation of Ultra-Precision Motion Controlled Positioning Stage
Veröffentlicht in Key engineering materials
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Design of a rotary fast tool servo for ophthalmic lens fabrication
Veröffentlicht in Precision engineering
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The long-range scanning stage: a novel platform for scanned-probe microscopy
Veröffentlicht in Precision engineering
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