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The role of hydrogen in a-C:H films deposited from hexane or acetylene using direct ion beam deposition method
von
Grigonis, A
,
Sablinskas, V
,
Silinskas, M
,
Tribandis, D
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Vacuum
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Formation of polymeric layer during silicon etching in CF2Cl2 plasma
von
Grigonis, A.
,
Knizikevičius, R.
,
Rutkūnien≐, Ž.
,
Tribandis, D.
Veröffentlicht in
Vacuum
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Access Via Sciencedirect (Elsevier)
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Sd College Edition Journals Collection - Physical Sciences [Scps]
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