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Two-Wavelength Grating Interferometry for MEMS Sensors von Ferhanoglu, O., Toy, M.F., Urey, H.

Veröffentlicht in IEEE photonics technology letters

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Two-wavelength Grating Interferometry for Extended Range MEMS Metrology von Toy, M.F., Ferhanoglu, O., Urey, H.

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MOEMS thermal imaging camera von Toy, M.F., Ferhanoglu, O., Hamdi Torun, Degertekin, F.L., Urey, H.

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$Thermal-mechanical Detector Array with Integrated Diffraction Grating$

Thermal-mechanical Detector Array with Integrated Diffraction Grating von Ferhanoglu, O., Toy, M.F., Unal, G., Kalyoncu, H.

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