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Survey of methods to characterize thin absorbing films with Spectroscopic Ellipsometry
Veröffentlicht in Thin solid films
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The initial stages of the oxidation of titanium nitride
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Optimizing the ellipsometric analysis of a transparent layer on glass
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Oxidation of titanium nitride in room air and in dry O2
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Convenient calibration of FTIR peak 'size' for thin organic/polymer films
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Determining the amount of Si-Si bonding in CVD oxynitrides
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Spectroscopic ellipsometry measurements of thin metal films
Veröffentlicht in Surface and interface analysis
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Industrial applications of spectroscopic ellipsometry
Veröffentlicht in Thin solid films
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An inorganic anti-reflective coating for use in photolithography
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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