Improved Leakage Currents and Polarity Control through Oxygen Incorporation in Ferroelectric Al0.73Sc0.27N Thin Films von Islam, Md Redwanul, Wolff, Niklas, Schönweger, Georg, Kreutzer, Tom-Niklas, Brown, Margaret, Gremmel, Maike, Straňák, Patrik, Kirste, Lutz, Brennecka, Geoff L, Fichtner, Simon, Kienle, Lorenz

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Ferroelectricity in AlScN: Switching, Imprint and sub-150 nm Films von Fichtner, Simon, Schönweger, Georg, Kreutzer, Tom-Niklas, Lofink, Fabian, Petraru, Adrian, Kohlstedt, Hermann, Wagner, Bernhard

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Improved Leakage Currents and Polarity Control through Oxygen Incorporation in Ferroelectric Al0.73Sc0.27N Thin Films von Islam, Md Redwanul, Wolff, Niklas, Schönweger, Georg, Tom-Niklas Kreutzer, Brown, Margaret, Gremmel, Maike, Straňák, Patrik, Kirste, Lutz, Brennecka, Geoff L, Fichtner, Simon, Kienle, Lorenz

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