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Suchergebnisse - Tinnemans, Patricius A.J
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Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing data filtering
von
TINNEMANS PATRICIUS A.J
,
BASELMANS JOHANNES J.M
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2
System and method for compensating for radiation induced thermal distortions
von
VENEMA WILLEM J
,
MARIA ZAAL KOEN J.J
,
TINNEMANS PATRICIUS A.J
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3
Lithographic apparatus and device manufacturing method utilizing a continuous light beam in combination with pixel grid imaging
von
DE JAGER PIETER W.H
,
TINNEMANS PATRICIUS A.J
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4
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
VAN HASSEL MARCO CORNELIS J.M
,
BONTEKOE MARCEL
,
MULCKHUYSE WOUTER F.W
,
TINNEMANS PATRICIUS A.J
,
KESSELS LAMBERTUS G.M
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5
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
JANSEN HANS
,
TINNEMANS PATRICIUS A.J
,
VAN DER TOORN JAN-GERARD C
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6
Method of producing optimized setpoint data in a maskless lithography system, and corresponding device manufacturing method
von
Hoeks, Martinus Hendricus H
,
Troost, Kars Zeger
,
Hintersteiner, Jason Douglas
,
Tinnemans, Patricius A.J
,
Albright, Ronald P
,
Cebuhar, Wenceslao A
,
Kastrup, Bernardo
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7
Lithographic apparatus and device manufacturing method
von
CADEE THEODORUS P.M
,
SCHOONDERMARK BART L.P
,
STAVENGA MARCO K
,
NIHTIANOV STOYAN
,
DE JONG FREDERICK E
,
VAN MEER ASCHWIN LODEWIJK H.J
,
SMEETS MARTIN F.P
,
TINNEMANS PATRICIUS A.J
,
GOORMAN KOEN
,
MERTENS JEROEN JOHANNES S.M
,
MENCHTCHIKOV BORIS
,
OTTENS JOOST J
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