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Radiative Properties of Patterned Wafers With Nanoscale Linewidth
Veröffentlicht in Journal of heat transfer
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A Short History of Pattern Effects in Thermal Processing
Veröffentlicht in Materials science forum
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Emissivity of silicon at elevated temperatures
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Infrared absorption in silicon at elevated temperatures
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Rapid thermal process driven intra-die device variations
Veröffentlicht in Materials science in semiconductor processing
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