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    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (3rd Edition)

    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (3rd Edition) von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies

    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies von Tilli, Markku, Lindroos, Veikko, Airaksinen, Veli-Matti, Franssila, Sami, Paulasto-Krockel, Mervi, Lehto, Ari, Motooka, Teruaki

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    Chemically Stable Atomic-Layer-Deposited Al2O3 Films for Processability

    Chemically Stable Atomic-Layer-Deposited Al2O3 Films for Processability von Broas, Mikael, Kanninen, Olli, Vuorinen, Vesa, Tilli, Markku, Paulasto-Kröckel, Mervi

    Veröffentlicht in ACS omega

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    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (2nd Edition)

    Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies (2nd Edition) von Tilli, Markku, Paulasto-Kröckel, Mervi, Motooka, Teruaki, Lindroos, Veikko

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    In-situ annealing characterization of atomic-layer-deposited Al2O3 in N2, H2 and vacuum atmospheres

    In-situ annealing characterization of atomic-layer-deposited Al2O3 in N2, H2 and vacuum atmospheres von Broas, Mikael, Lemettinen, Jori, Sajavaara, Timo, Tilli, Markku, Vuorinen, Vesa, Suihkonen, Sami, Paulasto-Kröckel, Mervi

    Veröffentlicht in Thin solid films

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    A 3D micromechanical compass

    A 3D micromechanical compass von Kyynäräinen, Jukka, Saarilahti, Jaakko, Kattelus, Hannu, Kärkkäinen, Anu, Meinander, Tor, Oja, Aarne, Pekko, Panu, Seppä, Heikki, Suhonen, Mika, Kuisma, Heikki, Ruotsalainen, Sami, Tilli, Markku


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    Silicon Wafers Preparation and Properties

    Silicon Wafers Preparation and Properties von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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    Chemically Stable Atomic-Layer-Deposited Al 2 O 3 Films for Processability

    Chemically Stable Atomic-Layer-Deposited Al 2 O 3 Films for Processability von Broas, Mikael, Kanninen, Olli, Vuorinen, Vesa, Tilli, Markku, Paulasto-Kröckel, Mervi

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    Properties of Silicon

    Properties of Silicon von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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    Where is Silicon Based MEMS Heading to?

    Where is Silicon Based MEMS Heading to? von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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    Silicon Wafers: Preparation and Properties

    Silicon Wafers: Preparation and Properties von Lindroos Veikko, Tilli Markku, Franssila Sami, Paulasto-Kröckel Mervi, Airaksinen Veli-Matti, Motooka Teruaki

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    Properties of Silicon

    Properties of Silicon von Lindroos Veikko, Tilli Markku, Franssila Sami, Paulasto-Kröckel Mervi, Airaksinen Veli-Matti, Motooka Teruaki

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    Silicon Wafers: Preparation and Properties

    Silicon Wafers: Preparation and Properties von Lindroos Veikko, Lehto Ari, Tilli Markku, Motooka Teruaki

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    Chapter 4 - Silicon Wafers: Preparation and Properties

    Chapter 4 - Silicon Wafers: Preparation and Properties von Tilli, Markku

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    Properties of Silicon

    Properties of Silicon von Lindroos Veikko, Lehto Ari, Tilli Markku, Motooka Teruaki

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    Chapter 1 - Properties of Silicon

    Chapter 1 - Properties of Silicon von Tilli, Markku, Haapalinna, Atte

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    Chapter Five - Silicon Wafers: Preparation and Properties

    Chapter Five - Silicon Wafers: Preparation and Properties von Tilli, Markku

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    THINNING OF A SI WAFER FOR MEMS-SENSORS APPLICATIONS

    THINNING OF A SI WAFER FOR MEMS-SENSORS APPLICATIONS von LEMPINEN, Vesa-Pekka, TILLI, Markku, MÄKINEN, Jari

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    Patent

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    Inkjet Printing, Laser-Based Micromachining, and Micro-3D Printing Technologies for MEMS

    Inkjet Printing, Laser-Based Micromachining, and Micro-3D Printing Technologies for MEMS von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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    Epi Wafers: Preparation and Properties

    Epi Wafers: Preparation and Properties von Theuss Horst, Lindroos Veikko, Petzold Matthias, Tilli Markku, Paulasto-Kröckel Mervi, Motooka Teruaki

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