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Three-Dimensional Compositional Characterization of High-k Gate Dielectrics with LEAP Atom Probe Tomography
von
Ulfig, Robert M.
,
Thompson, Kieth
,
Alvis, Roger
,
Bunton, Joeseph
,
Gorman, Brian
,
Larson, David
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Tagungsbericht
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Three Dimensional Compositional Characterization of High-K Gate Dielectrics with LEAP Atom Probe Microscopy
von
Ulfig, Robert M.
,
Thompson, Kieth
,
Alvis, Roger
,
Bunton, Joeseph
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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