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High entropy alloy thin films deposited by magnetron sputtering of powder targets
Veröffentlicht in Thin solid films
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Properties of Ti-oxide thin films grown in reactive magnetron sputtering with self-heating target
Veröffentlicht in Vacuum
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Energy flux measurements during magnetron sputter deposition processes
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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IR emission from the target during plasma magnetron sputter deposition
Veröffentlicht in Thin solid films
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Effect of the target temperature during magnetron sputtering of Nickel
Veröffentlicht in Vacuum
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