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Some photoeffect roles in rapid isothermal processing
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Effects of wafer bow and warpage on the integrity of thin gate oxides
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Role of in situ rapid isothermal processing in advanced III-V technology
Veröffentlicht in Journal of applied physics
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Preparation of Y-Ba-Cu-O superconducting thin films using BaF2 as a buffer layer
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Thermal budget consideration in rapid isothermal processing
Veröffentlicht in Applied physics letters
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Process simplification in DRAM manufacturing
Veröffentlicht in IEEE transactions on electron devices
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Silicon-based ultrathin dielectrics
Veröffentlicht in The Electrochemical Society interface
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RIP for dielectrics: it doesn't mean rest in peace
Veröffentlicht in The Electrochemical Society interface
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