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Mid frequency sputtering — a novel tool for large area coating
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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TwinMag II: attempts to improve an excellent sputter tool
Veröffentlicht in Thin solid films
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Mid frequency sputtering with TwinMag ®-a survey of recent results
Veröffentlicht in Vacuum
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Etching and sputter-ion plating using pulsed d.c
Veröffentlicht in Surface & coatings technology
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On the investigation of d.c. plasmatron discharges by optical emission spectrometry
Veröffentlicht in Thin solid films
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TwinMag TM II: attempts to improve an excellent sputter tool
Veröffentlicht in Thin solid films
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