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Novel Process Development for Bilayer Embedded SiGe Source/Drain Formation
von
Miyanami, Yuki
,
Ota, Kazunobu
,
Shinyama, Takashi
,
Owa, Yu
,
Katagiri, Takahiro
,
Horiuchi, Atsushi
,
Hagimoto, Yoshiya
,
Watanabe, Koji
,
Ikuta, Tetsuya
,
Terauchi, Sanae
,
Nagaoka, Kojiro
,
Fujita, Shigeru
,
Naruse, Hiroshi
,
Mizushima, Ichiro
,
Iwamoto, Hayato
,
Nagashima, Naoki
,
Kadomura, Shingo
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Novel Process Development for Bilayer Embedded SiGe Source/Drain Formation
von
Miyanami, Yuki
,
Ohta, Kazunobu
,
Shinyama, Takashi
,
Owa, Yu
,
Katagiri, Takahiro
,
Horiuchi, Atsushi
,
Hagimoto, Yoshiya
,
Watanabe, Koji
,
Ikuta, Tetsuya
,
Terauchi, Sanae
,
Nagaoka, Kojiro
,
Fujita, Shigeru
,
Naruse, Hiroshi
,
Mizushima, Ichiro
,
Iwamoto, Hayato
,
Nagashima, Naoki
,
Kadomura, Shingo
Veröffentlicht in
Meeting abstracts (Electrochemical Society)
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