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Micromachining of quartz plates: determination of a database by combined stereographic analysis and 3-D simulation of etching shapes
von
Tellier, C.R.
,
Leblois, T.G.
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IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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On the design of GaAs (hhl) resonant cantilevers: Study of piezoelectric excitation, of piezoresistive sensing and of micromachined structure
von
Tellier, C R
,
Leblois, T G
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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3
Micromachining of GaAs structures with an acidic hydrogen peroxide solution Experimental and theoretical 3D etching shapes
von
Tellier, C R
,
Huve, G
,
Leblois, T G
Veröffentlicht in
Sensors and actuators. A. Physical.
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4
Characterization of the anisotropic chemical attack of {hhl} silicon plates in a TMAH 25% solution. Micromachining and adequacy of the dissolution slowness surface
von
Tellier, Colette R.
,
Charbonnieras, A.
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Sensors and actuators. A. Physical.
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5
Some investigations on the anisotropy of the chemical etching of (hk0) and (hhl) silicon plates in a NaOH 35% solution. Part I : 2D etching shapes
von
Hodebourg, C.
,
Tellier, Colette R.
Veröffentlicht in
Active and passive electronic components
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6
Some investigations on the anisotropy of the chemical etching of (hk0) and (hhl) silicon plates in a NaOH 35% solution. Part II : 3D etching shapes, analysis and comparison with KO...
von
Tellier, Colette R.
,
Hodebourg, C.
,
Durand, S.
Veröffentlicht in
Active and passive electronic components
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7
Micromachined resonant temperature sensors: theoretical and experimental results
von
Leblois, T.G.
,
Tellier, C.R.
Veröffentlicht in
IEEE transactions on ultrasonics, ferroelectrics, and frequency control
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GaAs micromachining in the 1 H 2 SO 4 :1 H 2 O 2 :8 H 2 O system. From anisotropy to simulation
von
Tellier, C. R.
Veröffentlicht in
European physical journal. Applied physics
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