-
1
-
2
-
3
-
4
Dry etching of Al x Ga 1– x N/GaN by CCl 2 F 2 chemistry for device isolation
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
VolltextArtikel -
5
WSiN cap for Ohmic contacts to n-GaN with better morphology
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
VolltextArtikel -
6
Dry etching of AlxGa1-xN/GaN by CCl2F2 chemistry for device isolation
Veröffentlicht in Physica status solidi. C
VolltextArtikel